EVOS中文資料先進(jìn)能源工業(yè)數(shù)據(jù)手冊PDF規(guī)格書
| 廠商型號 |
EVOS |
| 功能描述 | Asymmetric bias waveform generator for direct control of substrate voltage and ion energy |
| 文件大小 |
247.28 Kbytes |
| 頁面數(shù)量 |
2 頁 |
| 生產(chǎn)廠商 | ADVANCEDENERGY |
| 中文名稱 | 先進(jìn)能源工業(yè) |
| 網(wǎng)址 | |
| 數(shù)據(jù)手冊 | |
| 更新時間 | 2025-8-9 11:06:00 |
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EVOS規(guī)格書詳情
FEATURES
? Ability to produce near mono-energetic ion energy distributions
? Pulse capability with necessary input and output signals for synchronization
? Direct switch-module integration replaces existing RF matching networks
? Real-time bias voltage and ion current feedback via high-speed metrology
? Adaptablility to standard chamber interface
| 供應(yīng)商 | 型號 | 品牌 | 批號 | 封裝 | 庫存 | 備注 | 價格 |
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