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AS200B數(shù)據(jù)手冊ASAIR中文資料規(guī)格書

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廠商型號

AS200B

功能描述

AS200B氣體質(zhì)量流量控制器

制造商

ASAIR Guangzhou Aosong Electronic Co., Ltd.

中文名稱

奧松 廣州奧松電子股份有限公司

數(shù)據(jù)手冊

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更新時間

2025-8-14 23:01:00

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AS200B規(guī)格書詳情

應用 Application

AS200B系列氣體質(zhì)量流量控制器(MFC),主要用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密控制和測量。它們在半導體集成電路工藝、特種材料、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應用。其典型的應用場合包括:集成電路工藝設(shè)備,如外延、擴散、等離子刻蝕、濺射、離子注入和各種CVD等設(shè)備;其他行業(yè)設(shè)備,如光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣裝置、毛細管測量儀、氣相色譜儀及其它分析儀器等。

技術(shù)參數(shù)

  • 制造商編號

    :AS200B

  • 生產(chǎn)廠家

    :ASAIR

  • 準確度

    :±1.0%S.P.(≥35%F.S.)±0.35%F.S.(<35%F.S.)

  • 線性

    :±0.5%F.S.

  • 重復精度

    :±0.2%F.S.

  • 響應時間

    :1sec

  • 最大工作壓力

    :0.45MPa

  • 工作環(huán)境溫度

    :5~45℃

  • 電源

    :+15~ +24 VDC (單極)

  • 重量

    :約0.95Kg

供應商 型號 品牌 批號 封裝 庫存 備注 價格
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